RMI 睿米 技术手册 RM5C12 技术手册.pdf

®RM5C12n-C₁₂H₂₆

睿米正十二烷()

标准漏孔系列技术规格书

版本号:V1.0

发布日期:2026-02-08

生产厂商:上海睿米

联系电话:021

EUVUHV

适用领域:半导体光刻、超高真空()、精密计量、半导体制程管控等

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