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- 2026-05-20 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120187138A
(43)申请公布日2025.06.20
(21)申请号202510329999.2H01L21/268(2006.01)
(22)申请日2025.03
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