二位移检测23课件讲解.pptx

项目二位移检测;;;;光栅传感器主要由标尺光栅、指示光栅、光路系统和光电元件组成。透射光栅的光路如图2-17所示,从上向下透过两个光栅在光电传感器上产生莫尔条纹,通过光电传感器的明暗变化次数实现检测。;1.光栅检测原理

当指示光栅和标尺光栅的条纹相交一个微小的夹角时,由于挡光效应或光的衍射效应,在与光栅条纹大致垂直的方向上产生明暗相间的条纹,这种条纹称为莫尔条纹。莫尔条纹有如下重要特性。

(1)莫尔条纹由光栅的大量刻线共同形成,对线纹的刻画误差有平均抵消作用,能在很大程度上消除短周期误差的影响。也就是说,光栅上刻画的条纹误差对明暗条纹的影响相对降低,这样可更容易制造光栅。