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研究报告

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稀土超磁致伸缩功能薄膜材料的特性及应用研究进展

一、稀土超磁致伸缩功能薄膜材料的制备方法

1.薄膜的化学气相沉积法制备

化学气相沉积法（CVD）是一种常用的薄膜制备技术，广泛应用于稀土超磁致伸缩功能薄膜材料的制备。该方法通过在高温下利用化学反应将气态前驱体转化为固态薄膜，具有制备温度低、沉积速率可调、薄膜质量高等优点。在CVD过程中，前驱体气体在反应室内与基底表面发生化学反应，生成所需的稀土超磁致伸缩薄膜。

以PdCo/CeO2薄膜为例，其制备过程中，首先将PdCo前驱体和CeO2前驱体混合均匀，然后通过CVD设备将混合气体输送到基底表面。在约50