CN119595055A 一种用于测试石英过滤器流量的装置及其方法 （辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119595055A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202411957967.9

(22)申请日2024.12.27

(71)申请人辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司

地址110000辽宁省沈阳市沈抚示范区沈

东四路89号

(72)发明人赵树君张建邢洪超李景双吴静立韩皓王兆岩杨柳

丁文杰

(74)专利代理机构沈阳工匠智诚知识产权代理事务所(普通合伙)21256

专利代理师董佳妮

(51)Int.Cl.

G01F1/00(2022.01)

G01F25/10(2022.01)

G01M99/00(2011.01)

权利要求书2页说明书5页附图1页

(54)发明名称

一种用于测试石英过滤器流量的装置及其

方法

(57)摘要

CN119595055A本发明公开了一种用于测试石英过滤器流量的装置及其方法，涉及石英过滤器流量测试技术领域，包括通过管路依次连接的高纯氮气气源、第一减压器、缓冲罐、过滤器、精密减压器、压力变送器、电磁阀、调节阀、电子流量计、玻璃转子流量计以及石英过滤器，通过各元件的配合，实现了对石英过滤器流量的精确测量和不同压力下的流量测试，提高了测量精度，确保了测试结果的可靠性，电脑、打印机以及与之