CN119592924A 基于共速沉积模型的曲面超薄金属共掺杂镀膜方法 （哈尔滨工业大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119592924A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202510152399.3

(22)申请日2025.02.12

(71)申请人哈尔滨工业大学

地址150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西

大直街92号

(72)发明人王赫岩任英正陆振刚何江海张怡蕾徐迪孟孙建坤孙宏宇

(74)专利代理机构北京新科华领知识产权代理事务所(普通合伙)16115

专利代理师薛妍

(51)Int.Cl.

C23C14/54(2006.01)

C23C14/34(2006.01)

C23C14/14(2006.01)

G06F17/10(2006.01)

权利要求书3页说明书7页附图4页

(54)发明名称

基于共速沉积模型的曲面超薄金属共掺杂

镀膜方法

(57)摘要

CN119592924A本申请涉及真空溅射镀膜技术领域，公开一种基于共速沉积模型的曲面超薄金属共掺杂镀膜方法，该方法首先根据预生成的膜厚确定两种靶材的溅射功率，利用在工作件上多溅射角度多点贴硅片沉积，测得沉积速率，并对同一水平半径带上的速率求平均值得到设定溅射角度下工作件上的点速率分布；对点速率分布进行多项式拟合，得到设定溅射角度下的速率分布曲线，并通过改变溅射角