CN120138747A 电镀方法、半导体器件及电镀装置 (上海积塔半导体有限公司).pdfVIP

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  • 2026-05-21 发布于重庆
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CN120138747A 电镀方法、半导体器件及电镀装置 (上海积塔半导体有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120138747A

(43)申请公布日2025.06.13

(21)申请号202510337417.5C25D17/10(2006.01)

C25D21/12(2006.01)

(22)申请日2025.03.20

H01L21/768(2006.01)

(71)申请人上海积塔半导体有限公司H01L23/48(2006.01)

地址201306上海市浦东新区自由贸易试

验区临港新片区云水路600号

(72)发明人徐超

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