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《微机电结构动态参数的激光测量方法》标准立项修订与发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReportonLaserMeasurementMethodsforDynamicParametersofMicroelectromechanicalStructures

摘要

微机电系统（MEMS）作为现代传感器的核心，其动态性能直接决定器件精度与可靠性。随着MEMS市场规模预计2023年突破1000亿元，工艺误差导致的动态特性失衡已成为制约产业发展的关键瓶颈。本报告针对微机电结构动态参数测量技术标准化需求，系统阐述基于激光干涉测振原理的测量方法。报告分析了标准制定的必要性，涵盖位移、速度、加速度、共振频率、品质因数、振型及模态等核心参数的测量原理与试验方法，明确标准适用范围。通过建立统一测试规范，旨在解决行业测量技术碎片化问题，提升MEMS器件研发效率与量产良率。标准将推动国内舜宇光学等企业实现技术自主可控，促进产学研协同创新，为MEMS产业高质量发展提供技术支撑。

关键词

微机电系统（MEMS）；激光测振；动态参数；标准化；多普勒效应；品质因数（Q值）；标准化技术委员会（SAC/TC）

一、引言

微机电结构（MEMS）是特征尺寸处于微米量级的可动器件，其动态特性（如共振频率、振型、品质因数等）是决定传感器精度、稳