1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 建筑/施工
  5. 建筑材料

微通道板W_Al2O3高阻复合薄膜导电层原子层沉积技术研究.pdf

微通道板W_Al2O3高阻复合薄膜导电层原子层沉积技术研究.pdf

    摘要

    微通道板（MicrochannelPlate,MCP）是一种高长径比结构的真空电子倍增器件，

    广泛应用于光电倍增管、像增强器等领域。传统的制备工艺存在材料匹配困难、氢还

    原工艺产生离子反馈等问题。原子层沉积技术（AtomicLayerDeposition,ALD）在MCP

    上制备的薄膜厚度均匀。目前MCP导电层以AZO（ZnO和AlO的复合薄膜）居多，

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >