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基于矢量衍射理论的激光分束光栅的设计与制备.pdf

基于矢量衍射理论的激光分束光栅的设计与制备.pdf

    摘要

    激光分束光栅作为一种利用光的衍射效应实现将一束入射激光分为多束激光出

    射的衍射光学元件，其具备大衍射角度、高均匀性、高衍射效率的特点，因此在当前

    的激光雷达、三维结构光重构、光飞行时间感知等领域有着重要的应用。大衍射角度

    意味着信息采集的范围更广，而信息采集结果的准确性则受到分束光斑能量均匀性

    影响。根据光栅方程，衍射角度与周期呈反比，因此大衍射角度对应着小周期。而分

    束光栅周期的减小会导致分束光栅的特征尺寸远小于入射波长，造成无法忽略的电磁

    场耦合效应，使得基于传统傍轴近似的标量衍射理论计算

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