CN119594367A 光源亮度调节装置及光源亮度调节方法 （上海埃瑞微半导体设备有限责任公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119594367A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202510010264.3

(22)申请日2025.01.03

(71)申请人上海埃瑞微半导体设备有限责任公司

地址201403上海市奉贤区金海公路6055

号11幢5层

(72)发明人姜毅盖洪峰段洪伟

(74)专利代理机构上海光华专利事务所(普通合伙)31219

专利代理师毛琼

(51)Int.Cl.

F21V14/00(2018.01)

F21V9/14(2006.01)

G02B27/28(2006.01)

G03B15/02(2021.01)

权利要求书2页说明书5页附图1页

(54)发明名称

光源亮度调节装置及光源亮度调节方法

(57)摘要

CN119594367A本申请提供一种光源亮度调节装置及光源亮度调节方法，无需背景技术中的机械切换装置，因此可以避免振动影响光源亮度的稳定性。通过分光元件将亮度待调整的非偏振光分解成第一偏振光和第二偏振光，由第一偏振旋转器调整第一偏振光的偏振角度形成第三偏振光，第二偏振旋转器调整第二偏振光的偏振角度形成第四偏振光，由合光元件合并第三偏振光的P光分量(或S光分量)和第四偏振光中S光分量(或P光分量)，实现输出至物镜系统的光