NEMS气体传感器在多气体分析系统中应用.pdfVIP

M3P.034

用于突破性多气体分析系统的NEMS气体传感器

1,231,231,2

E.Ollier,R.Barattin,C.Ladner,M.Petitjean,A.Bellemin‑Comte,V.

31,2

Gouttenoire,K.Benedetto,A.Salette3,311,2,1,2,3,1,2,N.DavidV.JousseaumeP.PugetL.

2

Duraffourg和EricColinetCEA,LETI,MINATEC校区，F‑38054格勒诺布尔法国格勒诺布

3

尔阿尔卑斯大学，F‑38000格勒诺布尔法国APIXAnalytics，F‑38054格勒诺布尔法国

并展示了在APIX多气体分析系