分子束外延装备冷屏挂耳结构分析与优化.pdfVIP

电子工艺技术

年月第卷第期ElectronicsProcessTechnology49

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分子束外延装备冷屏挂耳结构分析与优化

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吕文利，陈峰武，张佳檬，吴永栓，李军辉

（1湖南烁科晶磊半导体科技有限公司，长沙410114；

2中南大学机电工程学院，长沙410083）

摘要：分子束外延装备主要用于化合物半导体外延材料生长，在固态微波射频器件、半导体激光器、探

测器等领域有着广泛的应用。研究了大尺寸分子束外延装备零部件的结构行为，优化设计方案，验证安全性和可

靠性。采用仿真软件对腔体冷屏进行了承重力学分析，得到腔体冷屏的主要受力点。根据受力点，优化了挂耳结

构，并对优化后的结