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- 2026-05-21 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120149131A
(43)申请公布日2025.06.13
(21)申请号202510319604.0
(22)申请日2025.03.18
(71)申请人北京真空电子技术研究所（中国电
子科技集团公司第十二研究所）
地址100015北京市朝阳区酒仙桥路13号
(72)发明人冯源张琳潘攀冯进军
(74)专利代理机构北京正理专利代理有限公司
11257
专利代理师张雪梅曹朝阳
(51)Int.Cl.
H01J23/087(2006.01)
H01J9/00(2006.01)
权利要求书1页说明书6页附
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