CN119598927A 基于联邦学习的芯片制造过程参数优化方法及系统 （北京珂阳科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119598927A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202510143360.5

(22)申请日2025.02.10

(71)申请人北京珂阳科技有限公司

地址100176北京市通州区经济技术开发

区西环南路26号院30号楼（嘉捷科技

园A座）6层-605

(72)发明人李清生李树盛程涛

(74)专利代理机构北京星通盈泰知识产权代理

有限公司11952

专利代理师黄正奇

(51)Int.Cl.

G06F30/337(2020.01)

G06N3/0455(2023.01)

G06N3/126(2023.01)

G06N20/00(2019.01)

权利要求书5页说明书16页附图1页

(54)发明名称

基于联邦学习的芯片制造过程参数优化方

法及系统

(57)摘要

CN119598927A本发明提供基于联邦学习的芯片制造过程参数优化方法及系统，涉及芯片技术领域，包括通过采集多工厂工艺参数和良率数据，利用小波变换和双重评价筛选关键参数，构建深度Q网络模型；基于工艺轨迹相似度进行族群划分，采用差分隐私和同态加密保护数据安全，通过注意力机制和知识蒸馏实现族群优化；设置三级时间窗口监测良率，动态调整优化策略。本发明可有效提升芯片制造良率