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集成电路先进封装无尘车间建设方案.docx

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    集成电路先进封装无尘车间建设方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概况 3

    二、建设目标与原则 5

    三、工艺需求分析 8

    四、人员流线组织 11

    五、物料流线组织 14

    六、设备选型原则 16

    七、洁净空调系统 18

    八、温湿度控制方案 22

    九、送回风组织设计 26

    十、空气过滤配置 32

    十一、静电防护设计 34

    十二、微振控制措施 36

    十三、噪声控制措施 39

    十四、照明系统设计 41

    十五、给排水系统设计 47

    十六、电气系统设计 52

    十七、消防安全设计 55

    十八、监测与报警系统 58

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