微机电系统（MEMS）技术 微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法标准立项发展报告.docx

*

微机电系统（MEMS）技术微机电固态材料线性热膨胀系数测试方法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Micro-electromechanicalsystems(MEMS)technology-Testmethodforlinearthermalexpansioncoefficientoffreestandingsolid-stateMEMSmaterials

摘要

随着微机电系统（MEMS）技术的迅猛发展，其在消费电子、汽车、工业及国防等领域的应用日益广泛，典型产品包括加速度计、陀螺仪、压力计、微振镜和