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- 2026-05-22 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120261339A
(43)申请公布日2025.07.04
(21)申请号202510342226.8
(22)申请日2025.03.21
(71)申请人东方晶源微电子科技（北京）股份有
限公司
地址100176北京市大兴区北京经济技术
开发区经海四路156号院12号楼
(72)发明人邢举
(74)专利代理机构北京东方亿思知识产权代理
有限责任公司11258
专利代理师贺琳
(51)Int.Cl.
H01L21/67(2006.01)
G01N23/2251(2018.01)
权利要求书2
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