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Micro-LED晶圆缺陷的光学多通道检测技术研究.pdf

Micro-LED晶圆缺陷的光学多通道检测技术研究.pdf

    摘要

    Micro-LED作为一种新型显示元件，以其高分辨率、低功耗、长寿命等优势在近

    眼显示和大尺寸高清显示市场展现出巨大潜力。其芯片质量直接影响显示屏性能和成

    本，尤其在LED芯片尺寸缩小、数量增加的背景下，对晶圆缺陷检测系统的精确度

    和检测效率提出了更高要求。本文针对传统晶圆缺陷检测系统检测效率与检测精度无

    法兼顾的问题，将传统晶圆缺陷检测系统的单通道检测扩展为大面阵主检相机和复检

    偏振相机并行的多通道检测，以实现Micro-LED晶圆缺陷检测速率与检测精度的提升。

    主要工作内容分为

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