原创力文档集成电路先进封装洁净厂房设计方案
目录TOC\o1-4\z\u
一、项目概述 3
二、设计目标与范围 5
三、工艺特征分析 10
四、产能规划与功能分区 13
五、洁净等级与环境指标 14
六、工艺流程与物流组织 18
七、洁净室空间设计 21
八、建筑结构与荷载设计 26
九、围护系统与气密设计 31
十、空调通风系统设计 34
十一、温湿度控制方案 39
十二、洁净气流组织设计 42
十三、给排水与废水处理 45
十四、电力供应与配电系统 47
十五、动力与压缩空气系统 50
十六、工艺气体供应系统 54
十
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