微机电系统（MEMS）技术 玻璃浆料键合强度的微型V形试验（MCT）测量方法标准立项发展报告.docx

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微机电系统（MEMS）技术玻璃浆料键合强度的微型V形试验（MCT）测量方法标准立项发展报告

EnglishTitle

StandardizationDevelopmentReport:Micro-electromechanicalSystems(MEMS)Technology-MeasurementMethodforGlassFritBondStrengthusingMicroChevronTest(MCT)

摘要

随着微机电系统（MEMS）技术在消费电子、汽车、工业及国防等领域的广泛应用，器件级封装与互连技术，尤其是玻璃浆料键合工艺，已成为决定M