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基于旋转平移法的光学平面绝对检测研究.pdf

基于旋转平移法的光学平面绝对检测研究.pdf

    摘要

    随着先进光学制造技术的持续发展，光学检测在高精度光学元件制造过程中的关

    键作用日益凸显。在光学干涉测量领域，主要技术分为相对测量和绝对测量两大类。

    其中，相对测量技术受限于参考镜的面形误差，其测量精度存在固有局限。为突破这

    一技术瓶颈，绝对检测技术应运而生。该技术通过对多次测量数据进行系统性整合，

    可有效消除或显著降低参考面面形误差的影响，从而在本质上提升面形的检测精度。

    这一技术突破不仅推动了光学元件制造工艺的革新发展，更实现了关键工艺流程的优

    化升级。

    在各类绝对检测方法中，

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