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基于级联多环光学传感芯片的研究.pdf

基于级联多环光学传感芯片的研究.pdf

    摘要

    随着硅基光电子行业的不断发展，许多学者将芯片运用于传感上，目前已经开

    发处多种用于检测生物标志物的平台。随着流感病毒的大流行，进一步加速了病

    毒检测的研究，对疾病检测方案的迫切需求也加剧了硅基光波导传感器的发展。

    基于SOI的光波导传感器由于其高灵敏度、体积小且能够集成化，通过传感阵列

    方案可为实现多参数检测，并且在工艺上与CMOS工艺兼容等优点，在医疗诊断、

    药物研发、环境监测和食品安全等领域有着广泛的应用前景。

    文中首先对不同结构的微环谐振腔的进行介绍，紧接着对其性能

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