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- 2026-05-23 发布于陕西
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透射电子显微镜操作
1.环境与安全检查:
温湿度:20-25℃(±2℃)、≤60%RH(防结露)
设备:电源(三相380V)、冷却水(流量≥5L/min,水温≤28℃)
防护:穿戴防静电服+手套(防污染)
2.真空系统启动:
顺序:机械泵→分子泵→离子泵
真空要求:
机械泵:10⁻²Pa(显示“Ready”)
分子泵:10⁻⁵Pa(转速稳定,15-20分钟)
离子泵:≥10⁻⁷Pa(高真空灯亮)
风险提示:真空不达标启动电子枪→电子束散射+枪体损坏
操作步骤:
1.真空达标后,打开电子枪电源,选择灯丝类型:
LaB₆灯丝:预热电流约
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