CN119600308A 一种基于注意力机制的晶圆特征模块检测方法 （杭州电子科技大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119600308A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202510142955.9

(22)申请日2025.02.10

(71)申请人杭州电子科技大学

地址310018浙江省杭州市钱塘区白杨街

道下沙高教园区2号大街

(72)发明人李万清陈鑫唐莹刘俊

张俊峰李枨柳佳乐

(74)专利代理机构杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙)33240

专利代理师张晨曦

(51)Int.Cl.

G06V10/44(2022.01)

G06V10/774(2022.01)

G06V10/80(2022.01)

G06V10/82(2022.01)

G06N3/0464(2023.01)

G06N3/0985(2023.01)

权利要求书3页说明书7页附图5页

(54)发明名称

一种基于注意力机制的晶圆特征模块检测

方法

(57)摘要

CN119600308A本发明公开了一种基于注意力机制的晶圆特征模块检测方法。该方法首先收集不同光源拍摄下的晶圆图像作为训练样本，标注图像中晶圆特征模块的信息，作为训练标签；基于元学习的方法，将训练集随机划分为支持集和查询集。通过骨干网络，分别从支持集和查询集的图像中提取得到特征图X和特征