CN119601457A 一种金刚石复合晶圆及其制备方法 （钱塘科技创新中心）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119601457A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202311185055.X

(22)申请日2023.09.08

(71)申请人钱塘科技创新中心

地址310000浙江省杭州市经济技术开发

区白杨街道23号大街1002号5号楼

(72)发明人彭祖军杨家乐庞体强潘鹏何申伟黄雪润

(74)专利代理机构上海波拓知识产权代理有限

公司31264

专利代理师龚雪

(51)Int.Cl.

H01L21/02(2006.01)

H01L21/683(2006.01)

权利要求书1页说明书6页附图1页

(54)发明名称

一种金刚石复合晶圆及其制备方法

(57)摘要

CN119601457A本申请涉及一种金刚石复合晶圆及其制备方法。制备方法包括：提供包括金刚石生长衬底及支撑衬底的集成衬底，金刚石生长衬底的一侧表面与支撑衬底的一侧表面粘接，金刚石生长衬底的厚度小于支撑衬底的厚度；在金刚石生长衬底的背向支撑衬底的一侧表面形成金刚石层，得到金刚石层与集成衬底的复合结构；将支撑衬底从复合结构中去除，得到金刚石复合晶圆。本申请提供的方案通过厚度较大的支撑衬底给较薄的金刚石生长衬底提供支撑，可避免形成金刚石层时的热应力导致金刚石生长衬底出现翘曲、碎