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线切割加工微电子机械系统（MEMS）技术考试题库及答案

一、选择题（每题3分，共30分）

1.线切割加工中，常用于微电子机械系统（MEMS）制造的电极丝材料是（）

A.铜丝

B.钼丝

C.钨丝

D.铁丝

2.微电子机械系统（MEMS）技术的核心特点不包括以下哪一项（）

A.微型化

B.集成化

C.智能化

D.大型化

3.线切割加工时，放电间隙的大小对加工精度有重要影响，一般放电间隙在（）

A.0.01-0.05mm

B.0.05-0.1mm

C.0.1-0.5mm

D.0.5-1mm

4.以下哪种工艺不属于微电子机械系统（MEMS）制造中的常用工艺（）

A.光刻工艺

B.电镀工艺

C.锻造工艺

D.蚀刻工艺

5.线切割加工微电子机械系统（MEMS）时，切割速度与以下哪个因素关系不大（）

A.脉冲电源参数

B.电极丝张力

C.工件材料硬度

D.加工车间的温度

6.微电子机械系统（MEMS）的尺寸通常在（）

A.毫米级

B.微米级

C.厘米级

D.纳米级

7.线切割加工中，为了减少电极丝损耗，可采取的措施是（）

A.提高脉冲频率

B.降低脉冲宽度

C.增大放电电流

D.减小电极丝直径

8.在微电子机械系统（MEMS）制造中，光刻工艺主要用于（）

A.图形转移