2026中国碳化硅功率器件产业链本土化布局与产能规划研究.docx

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2026中国碳化硅功率器件产业链本土化布局与产能规划研究

目录

TOC\o1-3\h\z\u摘要 3

一、研究背景与战略意义 5

1.1全球碳化硅功率器件市场发展态势 5

1.2中国“双碳”目标下的产业政策驱动 7

1.3产业链本土化对供应链安全的战略价值 11

二、碳化硅材料与衬底供应分析 16

2.14英寸/6英寸碳化硅衬底产能现状 16

2.2衬底制备关键技术突破与国产化瓶颈 20

三、外延片制造环节本土化布局 23

3.1外延设备国产化进展与进口依赖度 23

3.2外延层厚度与掺杂均匀性技术要求 27

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