CN119604975A 在基板制造期间用于调整夹持电压的方法和机制 （应用材料公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119604975A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202380056243.4

(22)申请日2023.07.24

(30)优先权数据

17/875,6782022.07.28US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.23

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2023/0285072023.07.24

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/025843EN2024.02.01

(71)申请人应用材料公司

地址美国加利福尼亚州

(72)发明人米特斯·桑维

文卡塔纳拉亚纳·尚卡拉穆尔提阿卜杜勒·阿齐兹·卡哈

(74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理

有限公司11006

专利代理师徐金国吴启超

(51)Int.Cl.

H01L21/683(2006.01)

H01J37/32(2006.01)

权利要求书2页说明书13页附图6页

(54)发明名称

在基板制造期间用于调整夹持电压的方法

和机制

(57)摘要

CN119604975A公开了一种电子器件制造系统，该电子器件制造系统包括：基板保持器，该基板保持器被配置为在处理期间紧固基板；以及控制器，该控制器可操作地耦接至该基板保持器。该控