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硅棒多头截断机控制系统研究与设计.pdf

硅棒多头截断机控制系统研究与设计.pdf

    摘要

    摘要

    随着半导体行业和光伏行业的发展，硅片的市场需求量正日益提高，而硅棒的截断是

    硅片生产过程中承上启下的重要环节，硅棒的截断效率影响着整个硅片加工流程的生产效

    率，传统的切割设备已经无法满足下游行业对硅片的需求。由于硅棒在生成过程中内部会

    有杂质掺杂，在截断过程中，杂质会使切割线产生成张力冲击和张力波动，使金属线张力

    不稳定，进而影响切面质量和切割效率，切割过程中所产生的高温也会使硅棒表面发生氧

    化还原反应。针对上

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