GSB 04-3948-2022-硅单晶间隙氧和代位碳含量标准样品标准研究报告.docx

GSB04-3948-2022《硅单晶间隙氧和代位碳含量标准样品》发展报告

EnglishTitle:DevelopmentReportonCertifiedReferenceMaterialGSB04-3948-2022forInterstitialOxygenandSubstitutionalCarbonContentinMonocrystallineSilicon

摘要

本报告系统阐述了标准样品GSB04-3948-2022《硅单晶间隙氧和代位碳含量标准样品》的研制背景、技术内容、定值方法及应用价值。随着半导体产业向大尺寸、高纯度、低缺陷方向发展，硅单晶中间隙氧和代位碳含量的精确控制成为提升器件性能与良率的关键环节。该标准样品由全国标准样品技术委员会（TC118）归口，有研半导体硅材料股份公司负责研制，于2021年6月完成定值，2022年8月正式批准发布，有效截止日期至2031年6月。标准样品严格遵循GB/T1557-2018《硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法》和GB/T1558-2009《硅中代位碳含量的红外吸收测量方法》的技术要求，采用红外吸收光谱法进行定值，并经过多家实验室协同验证，确保了量值的准确性和溯源性。报告指出，该标准样品的发布填补了国内高精度硅单晶氧碳含量标准样品的空白，为硅材料生产、质量检验及科研提供了统一的