CN119609882A 游星轮组件、缓冲垫、抛光设备及方法、半导体产品 （重庆欣晖材料技术有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119609882A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202510160292.3

(22)申请日2025.02.13

(71)申请人重庆欣晖材料技术有限公司

地址400000重庆市江北区鱼嘴镇永和路

39号10层1021室

(72)发明人请求不公布姓名朱江林

(74)专利代理机构西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙)61253

专利代理师宋东阳侯丽丽

(51)Int.Cl.

B24B29/00(2006.01)

B24B41/06(2012.01)

权利要求书2页说明书8页附图7页

(54)发明名称

游星轮组件、缓冲垫、抛光设备及方法、半导

体产品

(57)摘要

CN119609882A本公开提供了游星轮组件、缓冲垫、抛光设备及方法、半导体产品；所述游星轮组件包括：第一游星轮；第二游星轮，所述第二游星轮上开设有用于容纳待抛光工件的通孔；缓冲垫，所述缓冲垫夹设在所述第一游星轮与所述第二游星轮

CN119609882A

CN119609882A权利要求书1/2页

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1.一种游星轮组件，其特征在于，所述游星轮组件包括：

第一游星