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铜合金电镀工艺的优化与改进研究

目录

一、内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

二、文献综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

三、铜合金电镀理论基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

3.1电镀基本原理与反应机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

3.2铜合金电镀过程中的界面行为．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

3.3关键工艺参数的作用机理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

3.4电镀层性能评价指标体系．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

3.5理论模型与数值模拟方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

四、实验设计与实施．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

4.1实验材料与设备选取．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

4.2电镀前处理工艺流程设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

4.3电镀工艺参数初步设定．．．．．