突破与创新：GaN基LED外延工艺结构的优化策略.docxVIP

突破与创新：GaN基LED外延工艺结构的优化策略

一、引言

1.1研究背景与意义

随着全球对节能环保的关注度不断提高，照明领域也在积极寻求更加高效、节能的光源。GaN基LED作为一种新型的半导体发光器件，因其具有宽带隙、高电子迁移率、优异的热稳定性以及良好的辐射效率等特性，成为了照明领域的研究热点。与传统的照明光源相比，GaN基LED具有节能环保、寿命长、稳定性高等优势，正逐步取代传统照明产品，在市场上占据主导地位。

然而，目前GaN基LED的外延工艺结构仍存在一系列问题，这些问题严重限制了GaN基LED的发展。其中，晶格匹配问题是一个关键挑战。由于大尺寸的氮化物