CN119989294A 晶圆良率预测方法和装置、电子设备与存储介质 （清华大学）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119989294A

(43)申请公布日2025.05.13

(21)申请号202411999225.2

(22)申请日2024.12.31

(71)申请人清华大学

地址100084北京市海淀区清华园1号

(72)发明人李钢江张悠慧

(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事

务所(普通合伙)11277

专利代理师李茂家周蕾

(51)Int.Cl.

G06F18/27(2023.01)

G06F18/25(2023.01)

G06F18/214(2023.01)

G06F18/213(2023.01)

G06N3/0464(2023.01)