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测控技术

智能感知与仪器仪表2022年第41卷第6期・15・

全Sic结构高温压力传感器制备及测试

梁晓波V,黄漫国V,刘德峰1，2,盛天宇3,李健3,蒋永刚3

（1.航空工业北京长城航空测控技术研究所，北京101111；2.状态监测特种传感技术航空科技重点实验室，北京101111；

3.北京航空航天大学仿生与微纳系统研究所，北京100191）

摘要：面向极端条件下原位压力测量技术的需求，设计了一种光纤法珀式碳化硅（SiC）高温压力传感

器。采用全SiC真空法珀（F-P）腔结构，以最大限度发挥SiC材料优异的耐高温特性。通过用反应离子

刻蚀和高温高压键合技术成功制备了全SiC式高温压力传感器，实现高温环境下的原位压力测量。实

验结果表明，该传感器能够实现650°C高温环境下6MPa的压力测量。650T下传感器的光谱压力灵

敏度达到4.05n