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基于微机电系统(MEMS)微镜的激光雷达扫描光路设计

第一章绪论

1.1研究背景

激光雷达作为一种主动式三维感知技术，通过发射激光束并测量回波信号来获取目标物体的距离、方位和反射率信息，已广泛应用于自动驾驶、机器人导航、地形测绘和工业检测等领域。

近年来，随着智能汽车产业的爆发式增长，车载激光雷达的市场需求急剧攀升。自动驾驶系统对感知传感器的要求极为严苛，需要同时满足远距离探测、高分辨率成像、快速帧率响应和低成本量产等多重指标。

传统机械旋转式激光雷达采用电机驱动多组激光收发模组进行360度扫描，虽然技术成熟、视场覆盖完整，但其体积庞大、结构复杂、可靠性受运动部件寿命制约，且成本居高不下，难以满足乘用车大规模前装的需求。

混合固态激光雷达通过转镜或棱镜方案部分减少了运动部件，但仍保留宏观机械转动结构，在小型化和可靠性方面提升有限。全固态激光雷达如光学相控阵和Flash方案虽无运动部件，却面临探测距离短、视场角受限或光源功率不足等技术瓶颈。

在此背景下，基于微机电系统微镜的激光雷达方案应运而生。MEMS微镜利用硅基微加工工艺制造，通过静电、电磁或压电驱动方式使微型反射镜产生偏转，实现对激光束的精确指向控制。该方案兼具固态器件的微型化优势与机械扫描的灵活指向能力，成为当前激光雷达技术发展的主流路线之一。

然而，MEMS微镜扫描光路的设计面临诸多挑战。微镜的驱动控制