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探寻大规模超导集成电路工艺技术：现状、挑战与突破

一、引言

1.1研究背景与意义

自20世纪中叶半导体集成电路发明以来，其深刻改变了人类的生活与社会发展模式，成为推动现代信息技术进步的核心力量。从早期的小规模集成电路到如今的超大规模集成电路，半导体集成电路的集成度、性能和功能都实现了飞跃式提升。在过去的几十年中，集成电路技术遵循摩尔定律，即芯片上可容纳的晶体管数目大约每18-24个月便会增加一倍，性能也随之提升一倍。这一规律使得计算机、智能手机、通信设备等电子产品的性能不断增强，尺寸不断缩小，成本不断降低，极大地推动了信息产业的发展，让人类社会快速步入数字化时代。

然而，随着半