CN119619770A 一种探针卡检测系统与方法 （成都高投芯未半导体有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119619770A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202510157745.7

(22)申请日2025.02.13

(71)申请人成都高投芯未半导体有限公司

地址610000四川省成都市高新区（西区）

天勤东街58号4栋3层1号

(72)发明人胡傲雪孟繁新封明辉冯正林符杰何家霖岳兰

(74)专利代理机构北京超凡宏宇知识产权代理

有限公司11463

专利代理师杜杨

(51)Int.Cl.

G01R31/12(2020.01)

G01R31/52(2020.01)

G01R35/00(2006.01)

权利要求书3页说明书10页附图5页

(54)发明名称

一种探针卡检测系统与方法

(57)摘要

CN119619770A本发明提出一种探针卡检测系统与方法，探针卡检测系统包括：测试机、探针台以及晶圆样本，控制器控制脉冲电压源通过第一电源端和第二电源端施加脉冲电压；第一漏电流监测装置监测晶圆样本的发射极量测端与集电极量测端之间的第一漏电流值，并将第一漏电流值传输给控制器；控制器根据第一漏电流值确定探针卡是否存在耐压隔离异常问题。通过对第一漏电流值进行监测，准确判断探针卡是否存在耐压隔离异常

CN119619770