电子信息行业集成电路设计与制造的技术突破方案.pdfVIP

电子信息行业集成电路设计与制造的技术

突破方案

第一章集成电路设计创新2

1.1设计理念更新3

1.2设计方法进3

1.3设计工具优化3

第二章先进工艺技术4

2.1光刻技术突破4

2.2集成电路制造工艺创新4

2.3工艺流程优化4

第三章纳米级集成电路技术5

3.1纳米级器件设计5

3.1.1设计理念5

3.1.2设计方法5

3.2纳米级制造工艺5

3.2.1光刻技术5

3.2.2蚀刻工艺6

3.3纳米级功能提升6

3.3.1材料创新6

3.3.2结构优化6

3.3.3算法优化6

第四章高频高速集成电路技术6

4.1高频高速器件设计6

4.2高频高速信号完整性分析7

4.3高频高速电路测试与优化7

第五章三维集成电路技术8

5.1三维