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电子行业集成电路与新型显示方案

第一章集成电路设计概述2

1.1集成电路发展历程2

1.2集成电路设计方法3

第二章集成电路工艺技3

2.1光刻技3

2.1.1光刻胶涂覆4

2.1.2曝光4

2.1.3显影4

2.1.4清洗4

2.2离子注入4

2.2.1掺杂4

2.2.2缺陷修复4

2.3化学气相沉积4

2.3.1反应机理5

2.3.2工艺参数5

2.3.3应用领域5

第三章集成电路封装与测试5

3.1集成电路封装技5

3.1.1封装技的概述5

3.1.2常见的封装形式5

3.1.3封装材料及工艺5

3.2集成电路测试方法5

3.2.1测试目的与分类5

3.2.2测试方法及设备6

3.3封装与测试的发展