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可见光垂直腔面发射激光器：从研制到特性的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

激光器自20世纪60年代问世以来，以其高亮度、高方向性、高单色性和高相干性等优异特性，在众多领域引发了深刻变革。从最初的固体激光器、气体激光器，到后来的半导体激光器，再到如今的光纤激光器等新型激光器，激光器技术不断突破，应用范围持续拓展。在半导体激光器家族中，垂直腔面发射激光器（VerticalCavitySurfaceEmittingLaser，VCSEL）凭借其独特的结构和性能优势，逐渐崭露头角，成为光电子领域的研究热点之一。

VCSEL的光场振荡和电流注入方向均垂直于衬底面，这种独特结