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  • 2026-05-28 发布于河北
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第一章等离子体特性及其应用技术

当前,低温等离子体技术已在材料、微日子、化工、机械及环等众多学

科领域中得到较广泛地应用,并已初步形成一种崭新工业-等离子体工业。例如,

在材料学科中,采用等离子体物理气相沉积技术和化学气相沉积技术可以合

成某些新型功能薄膜材料;在微电子工业中,采用等离子体刻蚀技术可

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