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电子束光刻技术与微机电系统(MEMS)制造

目录

1.MEMS发展的前世今生1

2.光刻技术的优势I

3.MEMS与我们的生活息息相关2

4.MEMS装置的制造3

5.电子束光刻的原理5

6.电子束光刻的类5

7.电子束光刻的基石：光刻胶6

8.基于PMMA的电子束光刻工艺流程7

9.光刻技术在MEMS制造中的应用12

10.光刻技术提高MEMS制造精度和稳定性的方法12

II.光刻技术在MEMS制造中的发展趋豹13

12.总结14

1.MEMS发展的前世今生

微机电系统也称MEMS,是一种结合了机械和电子等技术的微小装置，尺

寸不超过1mm。1959年，著名物理学家费曼(RichardFeynman)在加州理工学

院的物理年会匕发表了题为“TheresPlentyofRoomattheBottom(底部还有

很大空间)”的著名演讲，首次提出