TCASAS013-2021 碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH 腐蚀结合图像识别法.pdf

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ICS29.045

H80/84

团体标准

T/CASAS013—2021

碳化硅晶片位错密度检测方法

KOH腐蚀结合图像识别法

MeasuringmethodfortestingthedensityofdislocationinSiCcryst

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