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CN119932566A 一种半球谐振子批量化学抛光装置及抛光方法 （北京自动化控制设备研究所）.pdfVIP

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  • 2026-06-01 发布于重庆
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CN119932566A 一种半球谐振子批量化学抛光装置及抛光方法 （北京自动化控制设备研究所）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119932566A

    (43)申请公布日2025.05.06

    (21)申请号202411947134.4

    (22)申请日2024.12.27

    (71)申请人北京自动化控制设备研究所

    地址100074北京市丰台区云岗北里1号院

    3号楼

    (72)发明人徐海刚王宝军台云硕朱毅

    李泽章张传忠张宇航王建海

    张鹏

    (51)Int.Cl.

    C23F3/00(2006.01)

    权利要求书2页说明书5页附图2页

    (54)发明名称

    一种半球谐振子批量化学抛光装置及抛光

    方法

    (57)摘要

    本发明提供了

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