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- 2026-06-03 发布于四川
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- 即将实施
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- | 2026-04-30 颁布
- | 2026-11-01 实施
ICS31.200
CCSL40
中华人民共和国国家标准
/—/:
GBT42709.22026IEC62047-22006
半导体器件微电子机械器件
:
第部分薄膜材料拉伸试验方法
2
——
SemiconductordevicesMicro-electromechanicaldevices
:
Part2Tensiletestinmethodofthinfilmmaterials
g
(:,)
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