中科大传感器基础课件第9章 半导体传感器.pptVIP

3.误差及其补偿 在实际使用中，存在着各种影响霍耳元件精度的因素，即在霍耳电动势中叠加着各种误差电势，这些误差电势产生的主要原因有两类：一类是由于制造工艺的缺陷；另一类是由于半导体本身固有的特性。不等位电势和温度是影响霍耳元件主要误差的两个因素。第9章半导体式传感器1)烧结型湿敏电阻烧结型湿敏电阻的结构如图所示。其感湿体为MgCr2O4—TiO2系多孔陶瓷，利用它制得的湿敏元件，具有使用范围宽、湿度温度系数小、响应时间短，对其进行多次加热清洗之后性能仍较稳定等优点。第9章半导体式传感器2)涂覆膜型Fe3O4湿敏器件 除了烧结型陶瓷外，还有一种由金