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混合集成电路中AlAu键合可靠性评价：机理、方法与提升策略

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，混合集成电路在众多领域得到了广泛应用。在航空航天领域，混合集成电路被用于飞行器的导航、通信和控制系统，其可靠性直接关系到飞行安全；在汽车电子中，混合集成电路在发动机控制单元、自动驾驶辅助系统等关键部件中发挥着重要作用，影响着汽车的性能和稳定性；在医疗电子设备中，如心脏起搏器、医学成像设备等，混合集成电路的可靠性更是关乎患者的生命健康。

在混合集成电路中，AlAu键合作为实现电气互连的关键技术，其可靠性至关重要。键合点的失效可能导致电路断路、信号传输不稳定等问题，进而影响整个系统的