ZL 202110779115.5-用于伪MOS表征的DSOI晶圆制备方法-授权.pdfVIP

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  • 2026-06-01 发布于重庆
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ZL 202110779115.5-用于伪MOS表征的DSOI晶圆制备方法-授权.pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN115602602B

(45)授权公告日2026.05.29

(21)申请号202110779115.5H10D64/01(2025.01)

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